慶應義塾大学理工学部電気工学科卒業(1996年3月)、同大学にて工学博士を取得(2001年3月)。
2001年に(株)日立製作所に入社後、研究開発グループにおいて半導体製造エッチング装置およびプラズマプロセスの研究開発に従事。
1990年大阪大学大学院基礎工学研究科物理系専攻博士前期課程修了、1997年博士(工学)大阪大学。 1990年東レリサーチセンター研究員(1994-1997年アトムテクノロジー研究体研究員)、 2000年千葉大学大学院工学研究科准教授、2011年奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科特任教授、 2015年同教授、現在に至る。2017-2018年応用物理学会理事。
社会人・学生(会員・非会員) 5,000円(税込) ※価格を改定いたしました。
事前申込者には3月14日(水)にテキストダウンロード用のURLとパスワードをお送りいたします。
3月13日(火)以降の申込キャンセルはお受付けできませんので、ご注意ください。
(定員に達し次第締切。3月13日(火)以降のキャンセルはできません。)