慶長7年(1602)には家康公よりご朱印状を下され、石高62石7斗を贈られ、同9年(1604)社殿ご造営のうえご神器の品々をくだされた。
この時に本殿、幣殿、拝殿を連結し華麗な彩色を施した権現造の社殿が完成。やや遅れて貞享5年(1688)に楼門が建てられ、現在ではこれらの社殿と御神体を納める御厨子6基、社殿の棟札6枚と共に国の重要文化財に指定をされている。
また、昭和48年より51年にかけて大修復工事を行い、往時の絢爛豪華な姿に甦ることになる。