なお、電波法に無線周波数という語句はないが、電波法施行規則には無線周波数という言葉が存在している。 この2つは明らかに同一のもの、すなわち、Radio を指している。このような表現の揺れは、法律では珍しくはない。 この2つが同一のものであるという知識があれば、理解は容易であるが、一般には用語が違えば対象とする事象は異なると解釈される。 それ故に、何を言っているのか素人には理解不能、意味不明な法律が数多く存在する。 なお、電波法では、高周波を10kHz以上の高周波電流と定義している。
RFでプラズマを励起する場合、波形が歪み、第二次高調波、第三次高調波が無視できないほど発生する場合がある。13.56MHzの第二次高調波は、27.12MHzである。 特にCCPにおいては、イオンと電子の運動性の大きな差により、プラス側とマイナス側で流れる電流の大きさが大幅に異なってくるので、第二次高調波はほぼ確実に発生する。